조직도
1999
법인설립
2000
리니어모터 관련 특허 출원
2001
중기청 기술혁신형 중소기업(INNO-BIZ) 사업자 선정
2002
UVW STAGE 개발, 출시
중기청 기술혁신 개발 사업자 선정
2003
리니어 인덕션 모터 개발
2004
VCM (Voice Coil Motor) 개발
중기청 기술혁신 개발 사업자 선정 (직접 구동형 리니어 모터 – Servo LPM)
2005
기업부설 연구소 설립 및 승인
중기거점 개발과제 협약(세부주관기관, 3년)
2006
4축 UVW STAGE 개발, 출시
벤처기업인증 (기술신용보증기금 기술평가)
2007
휴대폰 키 패드 검사기 양산 적용
2008
LTS (Linear Transfer System ) 개발, 출 시
2009
수원산업단지내 자체사옥 준공 후 회사 본점 및 공장 이전
2010
OLED OHS SYSTEM 개발
OLED 증착기용 수직 UVW STAGE 개발
2011
OLED 전공정 VACUUM LTS 개발
2013
중소형 진공 STAGE 개발
2014
PUCK TYPE AIR BEARING STAGE 개발
2016
4축 UVW MOTION 제어 알고리즘 개발
EncoderLess Linear 개발
2017
에이징용 고온 환경 LTS 개발
선박엔진 제어용 VCM 개발
2018
오산 가장산업단지 신축 및 본사/공장 이전(대지 2470평, 건물 3926평 규모)
초대형 진공 STAGE 개발
외부 Encoder 적용 고정도 LTS 개발
2019
LINE SCAN 용 2 MODULE 적용 LTS 개발
AOI 용 LTS 개발 (자기부상 이송)
2020
ISO 9001:2015 / KS Q ISO 9001:2015 인증(최조인증일자 2020.02.14)
자사 생산 리니어모터 C.E인증 획득
진공용 정밀 LEVEL MOUNT 개발
2021
자사 생산 리니어모터 UL인증 획득
ORIFICE & CERAMIC AIR BEARING STAGE 개발
2차전지 고속형 TURN UNIT 개발
산업용 CT촬영 대형 DD MOTOR 개발
2022
LTS용 연결단 가이드 조립체 특허 출원
VACUUM LINEAR MOTOR 국산화 및 특허 출원
2023
APPLIED MATERIALS 1차 협력사 등록
전면 냉각 LINEAR MOTOR 개발
2024
ESG 경영을 위한 사내 태양광 설비 설치
MASK ANNEALING, TGV AIR BEARING STAGE 개발
8.7GH VACUUM MOVING XYZ STAGE 개발
6자유도 MOTION STAGE 개발
EUV INSPECTION STAGE 개발
8.6GH MASK 인장기 & AOI STAGE 개발
2025
TGV LASER 가공 AIR BEARING STAGE 개발
비접촉식 이송 SYSTEM 개발
ALD용 VACUUM 이송 SYSTEM 개발
TGV AOI용 정밀 STAGE 개발
반도체 CVD용 VACUUM LTS 개발
HBM용 NANO급 AIR BEARING STAGE 개발