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정밀 스테이지
(Precision Stage)

정밀 스테이지는 고속, 고정밀, 고신뢰성의 모션 제어를 위한 최적의 솔루션을 제공합니다.
고정밀 위치 제어가 가능하며, 직선 운동을 위한 안정성과 부드러운 이동을 구현하여 다양한 산업군에서 활용도가 높습니다.

고속으로 이동 시에도 정밀도를 유지합니다. 특히 다양한 모듈과 프로파일 옵션을 제공하여 사용자가 환경에 맞는 맞춤형 구성이
가능합니다. 정밀 스테이지는 높은 반응 속도와 긴 수명을 자랑합니다.

반도체, 디스플레이, 물류 등 다양한 산업 분야에서 안정적이고 효율적인 모션 제어를 제공하며, 유지보수 또한 용이하여
전체 운영 비용을 절감할 수 있습니다​​.

겐트리 스테이지
(Gantry Stage)

겐트리 스테이지는 대형 작업 영역에서 정밀한 이동을 위해 설계된 시스템으로, 주로 X-Y 축 또는 X-Y-Z 축으로 구성되어 여러 축을
동시에 제어할 수 있는 장비입니다. 이는 작업 부하를 효과적으로 분산시키며, 특히 대형 패널이나 웨이퍼 처리와 같은 고속, 고정밀
작업에 적합합니다.

두 개 이상의 지지축으로 구성되어 고정도와 안정성을 제공하며, 반도체 및 디스플레이 제조 공정 등에서 널리 사용됩니다.

스플릿 스테이지
(Split Stage)

스플릿 스테이지는 주로 하부에 주행축, 상부에 횡축을 배치하는 구조로 설계됩니다. 이러한 설계는 각 축이 독립적으로

구동할 수 있어 서로 간섭 없이 안정적인 정밀도를 구현할 수 있는 특징이 있습니다.

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두 축의 움직임이 독립적이므로 구동 시 발생할 수 있는 진동이나 영향을 최소화하여 고정밀 제어가 가능합니다.

이를 통해 작업의 신뢰성과 정밀도가 높아지며, 특히 반도체 공정이나 디스플레이 제조 등에서 고도로 정밀한 위치 제어가

필요한 어플리케이션에 적합합니다.

스택 스테이지
(Stacked Stage)

스택 스테이지는 여러 개의 축이 순차적으로 쌓인 형태로 구성되어 각 축이 상호 독립적으로 움직일 수 있습니다.

이러한 구조는 다축 제어가 필요할 때 각 축을 독립적으로 정밀하게 조정할 수 있는 장점이 있습니다.

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이를 통해 복잡한 3D 작업이 가능합니다.

초정밀 에어 베어링 스테이지
(Air bearing Stage)

초정밀 스테이지는 에어베어링을 사용하여 부상하며, 정밀 가공된 평면 위에 공기 필름층을 형성합니다.
공기가 팽창하면서 압축된 공기가 볼의 역할을 하여 양 축이 돌아가도록 합니다. 이 시스템은 마찰을 없애고 높은 정밀도와

안정성을 제공합니다.

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